白光干涉仪MT-W1系列
高度0.1nm / 自动对焦 / 自动调平
MT-W1白光干涉仪通过干涉条纹解析,可实现纳米分辨率的三维形貌表征,精准捕捉样品表面的高度差、粗糙度、台阶高度、膜厚等关键参数,为制造与前沿科研提供可靠的微观分析依据。应用场景覆盖半导体晶圆、MEMS 器件、精密光学元件、精密加工件、涂层材 料等多个领域。